四探針法測量晶圓電阻率

一、實(shí)驗(yàn)?zāi)康暮腿蝿?wù)

1、掌握四探針法測量半導(dǎo)體材料方阻的基本原理和方法；

2、掌握半導(dǎo)體電阻率的測量方法。

二、實(shí)驗(yàn)原理

測試原理：直流四探針法測試原理簡介如下：

體電阻率測量：

三、實(shí)驗(yàn)設(shè)備

SX1934 型數(shù)字式四探針測試儀

1、電氣原理

SX1944 型數(shù)字式四探針測試儀電氣部分原理方框圖如圖 2 所示。

2、結(jié)構(gòu)特征

儀器根據(jù)測試需要，可安放在一般工作臺(tái)上或者手持。探頭經(jīng)過精密加工，探針為耐磨材料碳化鎢所制成，配用寶石導(dǎo)套，使測量誤差大為減少，且可以提高壽命。探頭內(nèi)有彈簧壓力裝置，測試架內(nèi)還有高度粗調(diào)、細(xì)調(diào)及壓力自鎖裝置。

主機(jī)為儀器主要電氣部分所在，在其面板結(jié)構(gòu)如圖 3 所示。

1、數(shù)字顯示板；2 、電阻率 / 方塊電阻選 擇按鍵；3、電阻率或方塊電阻/電流選擇按鍵；

4 、電流極性選擇按鍵；5、電流量程按鍵；6 、電流粗調(diào)；7、電流細(xì)調(diào)；8 、探頭插座；

主機(jī)后蓋板設(shè)有交流 220V 電源插座和保險(xiǎn)絲座。如圖 4 所示。

四、實(shí)驗(yàn)結(jié)論

這次實(shí)驗(yàn)通過四探針法測量不同尺寸硅片的電阻率和方塊電阻，掌握四探針法測量半導(dǎo)體材料方阻的基本原理和方法和半導(dǎo)體電阻率的測量方法。本次實(shí)驗(yàn)由于是在電腦用軟件聯(lián)機(jī)操作，所以操作較為簡單使用，測試前無需根據(jù)樣品電阻率決定電流量程，使用“自動(dòng)電流量程”功能自動(dòng)選擇合適，軟件告知測試電流應(yīng)設(shè)置為多少。將 SX1944 四探針測試儀的探頭壓在被測樣品表面，讓探針與樣品接觸良好，此時(shí)應(yīng)注意探頭不要壓的太低，避免損壞探頭。